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作者:www.jypfzk.com 来源:www.jypfzk.com 日期:2019-01-08 14:26:55 点击率:

   真空装置由许多不同的零件组成,它们都是经过各种机械加工完成的,如车、铣、刨、磨、锉、焊接等。这样,零件表面不可避免地会沾上许多加工油脂、汗痕、抛光膏、焊剂、金属屑、油垢等污染物。这些污染物在真空中易挥发,影响真空设备的极限真空。

  此外,污染物在大气压下吸附了大量的气体,在真空环境中,这些气体也要被释放出来。构成了限制真空设备极限真空的因素。为此,零件组装前必须清除掉污染物。
  离子束刻蚀设备的内壁会被工件溅射的溅散物污染;真空中的电子枪的灯丝,由于高温蒸发会使其附近表面形成金属膜;规管灯丝在高温下蒸发,使陶瓷绝缘子上形成薄膜,破坏绝缘强度,影响测量的准确性。真空系统中的机械泵油和扩散泵油更是污染源,设备长期工作后会使设备内部形成明显的油膜。这些污染同样会影响设备的性能,应注意随时清除。

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